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        特種氣體

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        六氟乙烷

        時間:2016-3-31 17:34:30 瀏覽:

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        別 名 r116;全氟乙烷,分子式 c2f6;cf3cf3 外觀與性狀 無色、無氣味、非易燃的氣體,在24.3℃以上時不能保持液態,通常裝在耐高壓鋼瓶內,分子量 138.0 沸 點 -78℃,熔 點 -101℃ 溶解性 微溶于水,密 度 相對密度(水=1)1.61;相對密度(空氣=1)4.7 穩定性 穩定,危險標記 5(不燃氣體) 主要用途 用作絕緣氣、等離子蝕刻劑,高介電強度冷卻劑,六氟乙烷應用于刻蝕氣體/等離子刻蝕。



        電子工業:六氟乙烷作為等離子蝕刻工作氣體在發展微電子工業方面起著重要作用,是加工超大規模集成塊工藝中所必需的介質;

         

         

         

        制冷空調業:六氟乙烷右用做制冷和空調的冷媒。六氟乙烷還可與HFC-23組成不損害臭氧層的共沸劑R-508B,R-508B用做多級壓縮循環中在低溫段替代CF-13和R-503的替代物;

         

         

         

        化學工業:六氟乙烷可用做化學反應中的添氟劑;

         

         

         

        電力工業:六氟乙烷可用做電氣設備的絕緣劑和高介電強度冷卻劑;

         

         

         

        其它:六氟乙烷可用于器件表面清洗,還可用于光纖生產。

         

         應急處理處置方法:

         

        一、泄漏應急處理

         

        戴自給式呼吸器,穿工作服。切斷氣源。抽排(室內)或強力通風(室外)。漏氣容器不能再用,且要經過技術處理以清除可能剩下的氣體。

         

        二、防護措施

         

        呼吸系統防護:空氣中濃度較高時,應該佩戴防毒面具。緊急事態搶救或撤離時,建議佩戴自給式呼吸器。

         

        眼睛防護:一般不需要特殊防護。

         

        身體防護:穿工作服。

         

        手防護:一般不需要特殊防護。

         

        其它:避免高濃度吸入。

         

        三、急救措施

         

        吸入:脫離現場至空氣新鮮處。呼吸困難給輸氧。呼吸停止時,立即進行人工呼吸。就醫。

         

        滅火方法:切斷氣源。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。霧狀水。


          

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